Выпускник СПбПУ по направлению «Физика» успешно защитил кандидатскую диссертацию в ФТИ им. А.Ф. Иоффе
26 февраля 2026 года в Физико-техническом институте им. А.Ф. Иоффе РАН успешно защитил диссертацию на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук выпускник СПбПУ Павел Сергеевич Буторин.
Тема диссертации – «Эффективный плазменный источник излучения экстремального ультрафиолетового диапазона с длиной волны λ = 11.2 нм для нанолитографии: особенности физических процессов и методы управления интенсивностью», научный руководитель – старший научный сотрудник ФТИ им. А.Ф. Иоффе Сергей Георгиевич Калмыков. Павел Сергеевич – выпускник кафедры физики плазмы 2019 года (в настоящее время коллектив кафедры входит в состав Высшей школы фундаментальных физических исследований Физико-механического института).
Диссертация посвящена созданию эффективного источника излучения для литографии в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне, что чрезвычайно важно для развития полупроводниковой промышленности. Выполнены экспериментальные исследования излучения плазмы с применением многозеркальной брэгговской спектрометрии и метода «ИК-скопии». Работа, защищенная по специальности 1.3.6. - Оптика, находится на стыке физики плазмы, прецизионной спектроскопии и технологий и имеет ключевое значение как для развития методов управления излучением, так и для прикладных задач создания оптических систем нового поколения.
Желаем Павлу Сергеевичу дальнейших успехов в работе на стыке физики плазмы и оптики!
